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技術(shù)特點(diǎn)

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電子工業(yè)超凈間設(shè)計(jì)及裝修一般有哪些方案

在超凈間的應(yīng)用領(lǐng)域，半導(dǎo)體行業(yè)算是工業(yè)超凈間大佬級別的存在了。超凈間在半導(dǎo)體行業(yè)的建設(shè)目的是為了以無生命微粒的控制為對象，控制超凈間內(nèi)空氣塵埃微粒對工作對象的污染，使超凈間內(nèi)部保持正壓狀態(tài)，良好地控制出品環(huán)境。

半導(dǎo)體超凈間的建設(shè)專業(yè)度高且程序復(fù)雜，要打造滿足標(biāo)準(zhǔn)且適合工藝流程的超凈間包含多種專業(yè)維度的建設(shè)內(nèi)容。比如說：

建筑構(gòu)造、內(nèi)部平面、工藝布置、裝飾裝修、人員和物料凈化、暖通系統(tǒng)建設(shè)、自控系統(tǒng)建設(shè)、通排風(fēng)系統(tǒng)建設(shè)、氣體供應(yīng)系統(tǒng)建設(shè)、管網(wǎng)建設(shè)等。這些內(nèi)容每一個維度都關(guān)系著該車間目標(biāo)控制標(biāo)準(zhǔn)的達(dá)成。

因?yàn)殡娮庸I(yè)超凈間建設(shè)環(huán)節(jié)較為復(fù)雜，德信致遠(yuǎn)先摘出在半導(dǎo)體超凈間建設(shè)環(huán)節(jié)中，暖通系統(tǒng)和氣體供應(yīng)系統(tǒng)的建設(shè)相關(guān)內(nèi)容加以概述。

半導(dǎo)體超凈間暖通系統(tǒng)設(shè)計(jì)要點(diǎn)：

1.半導(dǎo)體超凈間多以萬級（局部百級）為設(shè)計(jì)目的。要達(dá)到這樣的標(biāo)準(zhǔn)，就需要選擇高效或亞高效過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器，對進(jìn)入無塵車間的空氣，進(jìn)行一級過濾。為保護(hù)終端過濾器和延長其壽命，需要使空氣先經(jīng)中效過濾器進(jìn)行過濾。

2.除了考慮潔凈的空氣送風(fēng)外，還要考慮合理的氣流分布流型。譬如在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)就一個盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū);氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。

3.要根據(jù)無塵車間的規(guī)格大小來選擇合適的送風(fēng)設(shè)備，達(dá)到足夠的送風(fēng)量，以達(dá)到可以稀釋空氣的含塵濃度，又能保證有穩(wěn)定氣流流型的目的。

半導(dǎo)體超凈間供氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)要點(diǎn)：

在工藝技術(shù)較為先進(jìn)的半導(dǎo)體晶圓工廠的制造過程中，工藝步驟達(dá)幾百道，前后要使用幾十種不同種類的氣體。

在半導(dǎo)體、集成電路這類電子工業(yè)超凈間建設(shè)過程中，因?yàn)楣に噺?fù)雜對環(huán)境要求高。要在一定空間內(nèi)清除空氣中的顆粒物、有害空氣、細(xì)菌等污染物，控制室內(nèi)溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布，將噪聲振動和照明、靜電控制在一定需求范圍內(nèi)，需要平面設(shè)計(jì)師和各技術(shù)段工程師非常精密的計(jì)算與合作。

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